VACUUM DIAGNOSTICS
RGA 殘餘氣體分析儀RESIDUAL GAS ANALYZER
“
傳統壓力計只能告訴你壓力變了，
而 RGA 能告訴你為什麼變了。
它是真空製程的「黑盒子」，幫助開發者縮短研發週期，協助生產者確保零缺陷產出。不同於一般的真空計（只能量測壓力），RGA 能量測系統中每一種殘餘氣體的分壓。無論是水氣、碳氫化合物、大氣洩漏還是製程副產品，RGA 讓您對腔體狀況一目了然。
RGA MASS SPECTRUM — 分壓即時掃描 Partial Pressure vs. AMU
H₂2
H₂O18
OH17
N₂28
O₂32
CₓHᵧ43
CO₂44
上圖為典型腔體殘餘氣體分佈示意（水氣主導）。實測時 RGA 逐一辨識各質荷比 (m/z) 對應的氣體分壓，協助判讀洩漏、放氣與污染來源。
應用領域
01
半導體製程
CVD／PVD 薄膜沉積、離子佈植製程監控。
02
顯示器面板技術
面板真空製程的氣體純度與環境把關。
03
真空鍍膜與表面處理
鍍膜腔體放氣與殘餘氣體成分分析。
04
基礎科學研究與高能物理實驗
超高真空系統的洩漏偵測與潔淨度驗證。
